美國派克SMSQ2MICRO30102超高純束縛膜片減壓閥產(chǎn)品解析：

UHP 超高純束縛膜片減壓閥 (壓力高達 250 psig) – SMSQ2Micro系列

零件#: SMSQ2MICRO30102

派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場上先進的微型超高純減壓閥。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提高了MFC（質量流量控制器）的性能，這對半導體生產(chǎn)的重復性和產(chǎn)量至關重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對半導體應用中至關重要的的過程污染.

減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流量需求變化提高出色響應。產(chǎn)品采用自動定心束縛膜片設計，提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調節(jié)。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進一步提高工藝清潔度和吹掃性能.

SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內部電解拋光 Vericlean™ 316L不銹鋼。Vericlean™ 是派克公司的UHP超高純級不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22®。這些材料與SMSQ2Micro系列設計特點相結合，使SMSQ2Micro系列具有強耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命，入口壓力高達250.

SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規(guī)范.

SMSQ2Micro系列減壓閥的內部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，使用質譜儀以獲得在苛刻超高純應用中的性能和穩(wěn)定性.

美國派克SMSQ2MICRO30102超高純束縛膜片減壓閥特點和優(yōu)勢:

市場:

半導體

分析試驗室

航空航天

工業(yè)

有C 和 W密封貼面安裝1-1/8

和1-1/2

閥體尺寸

極低粒子數(shù)

束縛膜片有效減少接液部件的彈簧，增加安全性

SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv

出口壓力范圍： -10 psig 到 60 psig

內漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He

外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He

5微英寸(Ra粗糙度)電解拋光表面處理

工作壓力范圍：-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C)

美國派克SMSQ2MICRO30102超高純束縛膜片減壓閥應用:

腐蝕性和特殊氣體

半導體工具

工具掛鉤

氣體柜

閥組箱 (VMB)

美國派克SMSQ2MICRO30102超高純束縛膜片減壓閥及其工作原理:

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)及高科技領域中，對于氣體或液體介質的純凈度和壓力控制有著要求。超高純束縛膜片減壓閥作為一種精密的流體控制設備，以其結構和性能，在半導體制造、生物制藥、精密儀器及高純氣體供應系統(tǒng)等領域得到了廣泛應用。本文將詳細介紹超高純束縛膜片減壓閥及其工作原理。

一、超高純束縛膜片減壓閥概述

超高純束縛膜片減壓閥是一種專門設計用于控制超高純度氣體或液體壓力的設備。它采用特殊材料制成，以確保流體的純凈度不受污染，并且具有減壓精度和穩(wěn)定性。這種減壓閥通過精確調節(jié)膜片的運動來控制管道內流體的壓力，使其保持在設定的安全范圍內，防止因壓力過高導致的設備損壞或流體泄漏。

二、超高純束縛膜片減壓閥的結構

超高純束縛膜片減壓閥主要由主體、彈簧、閥芯、束縛膜片及連接部件等構成。其中，主體作為閥門的外殼，采用耐腐蝕、易清潔的材料制成，以確保流體的純凈度。彈簧提供恒定的壓力，用于對抗流體壓力，并通過調節(jié)其緊度來控制減壓精度。閥芯是調節(jié)流通截面積的關鍵部件，通過移動來改變流體流速。束縛膜片則是感應壓力變化并傳導給閥芯的重要部件，其材質需具備高彈性、耐腐蝕和耐磨損等特性。

三、超高純束縛膜片減壓閥的工作原理

超高純束縛膜片減壓閥的工作原理基于壓力平衡和膜片變形原理。具體來說，當管道內的流體壓力超過設定值時，彈簧會推動閥芯向關閉方向移動，減小流體通過的截面積，從而降低流速和壓力。這一過程中，束縛膜片作為感應元件，感知到壓力變化并作出相應變形，將信號傳遞給閥芯。反之，當壓力低于設定值時，彈簧會使閥芯向開啟方向移動，增大流體通過的截面積，提高流速和壓力，從而維持管道內流體的壓力穩(wěn)定。

在超高純束縛膜片減壓閥中，束縛膜片的設計尤為關鍵。它不僅需要具有高度的靈敏度和準確性，還需要能夠耐受高純度流體中的腐蝕性物質，以保證長期穩(wěn)定運行。此外，為了確保流體的純凈度，減壓閥內部的所有部件均經(jīng)過特殊處理，以減少對流體的污染。

四、超高純束縛膜片減壓閥的應用優(yōu)勢

1. 超高純度：采用特殊材料和工藝制成，確保流體的純凈度不受污染。

2. 高精度減壓：通過精確調節(jié)膜片的運動和彈簧的緊度，實現(xiàn)高精度的減壓控制。

3. 穩(wěn)定性強：結構緊湊、設計合理，能夠在各種惡劣環(huán)境下穩(wěn)定運行。

4. 易于維護：一體式閥芯設計，便于抽取進行清洗或更換，降低維護成本。

5. 廣泛適用性：適用于半導體制造、生物制藥、精密儀器及高純氣體供應系統(tǒng)等多個領域。

五、美國派克SMSQ2MICRO30102超高純束縛膜片減壓閥結論

超高純束縛膜片減壓閥作為現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)及高科技領域中的重要流體控制設備，以其結構和性能，在保障流體純凈度和壓力穩(wěn)定方面發(fā)揮著不可替代的作用。隨著科技的進步和工業(yè)的發(fā)展，超高純束縛膜片減壓閥將繼續(xù)在更多領域得到應用和推廣，為行業(yè)的發(fā)展和進步貢獻力量。