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BALLUFF晶圓映射傳感器 – 在狹隘的空間內(nèi)保障高精度

發(fā)布時(shí)間: 2020-09-10  點(diǎn)擊次數(shù): 1417次

 晶圓映射傳感器 – 在狹隘的空間內(nèi)保障高精度

可集成到末端執(zhí)行器內(nèi),非常適合晶圓映射

為滿足您的晶圓映射需求,巴魯夫提供高精度光電傳感器,可完美集成到末端執(zhí)行器內(nèi)。我們的映射傳感器經(jīng)過(guò)專門(mén)設(shè)計(jì),適合極薄的末端執(zhí)行器,傳感器的光斑均勻且受控性和聚光性*,因此,該傳感器可識(shí)別甚至只有幾微米厚度的晶圓,精度*。該傳感器能可靠識(shí)別整個(gè)卡槽,重疊的晶圓或歪斜的晶圓能始終得到識(shí)別。

映射傳感器基于光電Micromote技術(shù),它將一個(gè)極小的光學(xué)傳感器頭與外部處理單元(放大器)組合到一起,兩者通過(guò)高柔性電纜連接。這意味著您可以將傳感器應(yīng)用于任何機(jī)械安裝方式,與其他Micromote傳感器一樣。

特點(diǎn)

  • 傳感器電纜非常緊湊、柔韌性高
  • 多功能傳感器頭
  • 使用BAE外部放大器,靈活性好,適用于各種應(yīng)用

 

 

晶圓映射傳感器 – 在狹隘的空間內(nèi)保障高精度

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